成分解析ができる解析装置まとめ!EDX・SIMS・オージェ電子分光(AES)とか

半導体の製造工程では、どうしても異物・ゴミ(particle/foreign material)問題がつきまとってしまいます。

なんかゴミがあるのは分かった。でも…

じゃあこれ何?どっからきたの?原因は?

なんてことも知りたい!そんなときに役立つ解析装置が成分解析装置です。どんなものがあるのか、さらっとまとめてみました。

EDX(Energy dispersive X-ray spectrometry/エネルギー分散型X線分析)

X線を使った成分分析装置です。

X線の反射を利用してゴミの成分を調べてます。

SIMS(Secondary Ion Mass Spectrometry/二次イオン質量分析法)

イオンを使った成分分析装置です。

イオンビームを当てると観察対象の内部イオンが反応します。で、この内部イオンがひょろひょろ~って外側に出てきます。

この出てきたイオンを二次イオンと言うんですけど、この二次イオンを調べて成分解析するのがSIMSです。

AES(Auger Electron Spectroscopy/オージェ電子分光)

電子ビームを使った成分分析装置です。

電子ビームを当てると、内部電子がやっぱりひょろひょろ~って外側に出てきます。

この出てきた電子を二次電子というんですけど、成分ごとに電子の特徴があるので、それを観測すれば『何が含まれてるのか?』特定できるでございますぅ。

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