EBテスター(電子ビームテスター)ってなに?ナノ・マイクロプローブとは?

スーパー小さい半導体の電気的な不良箇所を特定するのは、とっても大変!そんなときに頼れる解析装置がマイクロプローブ電子ビームテスターなんです。

大きな違いは『半導体の電極や配線に触れるか・触れないか』です。

マイクロ・ナノプローブ:接触式の電気テスター
EBテスター:非接触式の電気テスター

それぞれどんな装置なのか、もうちょっと詳しく見ていきたいと思います。

接触式と非接触式プロービング

スーパー小さい半導体の電気的解析ができる装置は大きく分けて2種類有ります。

『接触式プロービング』『非接触式プロービング』です。

違いは、半導体の配線や電極に直接触れるか触れないか、だけです。

プローブ(probe)とは日本語では2つ意味があります。
①:探針(たんしん)というモノの名前を表す名詞
②:~を探す、という動作を表す動詞

プロービング(probing)とは、『探すこと、探査』という意味で、半導体業界でプロービングというと電気的な検査や不具合調査の装置を言います。

接触式プロービング マイクロプローブ

半導体の電極や配線に小さい針を当てて、電気の流れを測定する装置です。

大したことのない装置に聞こえてしまうかもしれませんが、マイクロサイズの配線や電極を小さい針で直接測定する事ができます。

1μm(マイクロメートル)=1/1,000(千分の1)mm=1/1,000,000(百万分の1)m

高倍率顕微鏡で観察しながらじゃないと操作できません。

接触式プロービング ナノプローブ

文字通りナノサイズの範囲で電気的な測定ができます。

1nm(ナノメートル)=1/1,000(千分の1)μm=1/1,000,000(百万分の1)mm=1/1,000,000,000(十億分の1)m

超高倍率の電子顕微鏡で観察しながらじゃないと操作できません。

非接触式プロービング EBテスター(電子ビームテスター)

EBテスター(電子ビームテスター)とは、電子ビームで電圧や電流を測定するテスターです。

電子ビームを半導体に浴びせると、電子が反射したり、半導体内部の電子が飛び出したりします。

反射した電子(一次電子)や、飛び出てきた電子(二次電子)を測定して、電気回路のどの部分に異常があるのか詳しく見ていく装置がEBテスター(電子ビームテスター)です。

実際には半導体に電気を流して、動作中にEBテスターで計測します。

これもナノレベルの話になってくるので、電子顕微鏡で観察しながらじゃないと、どこを計測してるのか・何やってるかさっぱり分かりません!

そもそも電子顕微鏡・オシロスコープやCADが組み込まれている装置がほとんどですぅ。

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